一、开题答辩题目：MEMS惯性器件噪声控制及补偿优化技术研究
二、开题答辩人：张军岭
三、开题答辩时间：2024年6月7日 下午16:00
四、开题答辩地点：创新大厦b座1901会议室
五、开题内容简介：
本课题面向对MEMS惯性器件工程化应用的重大需求，针对MEMS惯性器件的噪声控制及补偿优化等方面开展工作，通过芯片级、器件级、系统级三个层级的技术创新和设计优化，围绕着芯片级高精度Sigma-Delta ADC设计、器件级应力适应技术、系统级阵列式滤波算法和在线自标定算法以及噪声验证技术等关键技术方向为主要内容进行研究，通过研究阐明MEMS惯性器件噪声在不同层级的主要来源和抑制方法，从而降低MEMS惯性器件噪声，提高MEMS惯性器件的产业成熟度。
六、开题答辩人简介
张军岭，男，我院控制科学与工程专业，2022级在读博士研究生，主要研究方向为MEMS惯性器件。
